Method, substrate and system for estimating stress in a substrate

WO2020147992 Art A1 23. Juli 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020147992
Aktenzeichen: EP19798074
Anmeldetag: 5. November 2019
Veröffentlichung: 23. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/02H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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