Foreign matter removal device, substrate cleaning device, substrate treatment device, and cleaning member

WO2020149027 Art A1 23. Juli 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020149027
Aktenzeichen: EP19909729
Anmeldetag: 28. November 2019
Veröffentlichung: 23. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B08B1/00B08B3/04H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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