Laminate manufacturing method and laminate manufacturing device

WO2020149127 Art A1 23. Juli 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020149127
Aktenzeichen: EP19910388
Anmeldetag: 25. Dezember 2019
Veröffentlichung: 23. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L25/065H01L25/07H01L25/18B32B37/00H01L21/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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