Wafer processing tools and methods thereof
WO2020150072
Art A1
23. Juli 2020
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020150072
- Aktenzeichen
- EP20741328
- Anmeldetag
- 9. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/677B24B37/34H01L21/67H01L21/687H01L21/68H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- APPLIED MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
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