Methods and systems for inspection of semiconductor structures with automatically generated defect features
WO2020150538
Art A1
23. Juli 2020
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020150538
- Aktenzeichen
- EP20741698
- Anmeldetag
- 17. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.