Information processing system, information processing method, program, and substrate processing device

WO2020153001 Art A1 30. Juli 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020153001
Aktenzeichen: EP19911008
Anmeldetag: 4. Dezember 2019
Veröffentlichung: 30. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/005H01L21/304G06N3/02G06F17/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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