Electrostatic Chuck

WO2020153449 Art A1 30. Juli 2020

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020153449
Aktenzeichen: EP20744832
Anmeldetag: 23. Januar 2020
Veröffentlichung: 30. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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