Methods for forming three-dimensional memory device without conductor residual caused by dishing

WO2020155032 Art A1 6. August 2020

Anmelder: Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020155032
Aktenzeichen
EP19912685
Anmeldetag
31. Januar 2019
Veröffentlichung
6. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L27/11582
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Yangtze Memory Technologies Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Yangtze Memory Technologies

Chinesisches Unternehmen aus Wuhan, das NAND-Flash-Speicherchips entwickelt und produziert.

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