Method for cleaning a vacuum system, method for vacuum processing of a substrate, and apparatus for vacuum processing a substrate

WO2020156659 Art A1 6. August 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020156659
Aktenzeichen: EP19702588
Anmeldetag: 30. Januar 2019
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B08B9/00B08B7/00C23C14/56C23C16/44H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von