Apparatus and method for property joint interpolation and prediction

WO2020156724 Art A1 6. August 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020156724
Aktenzeichen: EP19816772
Anmeldetag: 12. Dezember 2019
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G06N3/04G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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