Method for producing silicon wafer, and silicon wafer

WO2020158376 Art A1 6. August 2020

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020158376
Aktenzeichen
EP20749636
Anmeldetag
15. Januar 2020
Veröffentlichung
6. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
B24B7/22B24B9/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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