Flow passage assembly, valve device employing said flow passage assembly, fluid control device, semiconductor manufacturing device, and semiconductor manufacturing method

WO2020158512 Art A1 6. August 2020

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020158512
Aktenzeichen: EP20749643
Anmeldetag: 21. Januar 2020
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: F16K27/00F16K47/08F16K1/52G01F1/42F16L55/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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