Moiré target and method for using the same in measuring misregistration of semiconductor devices

WO2020159560 Art A1 6. August 2020

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020159560
Aktenzeichen: EP19912379
Anmeldetag: 10. April 2019
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02C23C14/34H01L21/66H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-TENCOR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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