Nanoscale resolution, spatially-controlled conductivity modulation of dielectric materials using a focused ion beam

WO2020159596 Art A2 6. August 2020

Anmelder: NORTHWESTERN UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020159596
Aktenzeichen: EP19913300
Anmeldetag: 7. November 2019
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/42

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Anmelder

Firma: NORTHWESTERN UNIVERSITY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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