Scaling metric for quantifying metrology sensitivity to process variation

WO2020159737 Art A1 6. August 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020159737
Aktenzeichen
EP20747665
Anmeldetag
21. Januar 2020
Veröffentlichung
6. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68G01N21/95H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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