Cooling system for processing chamber

WO2020160079 Art A1 6. August 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020160079
Aktenzeichen: EP20748605
Anmeldetag: 29. Januar 2020
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67F25B9/00F25B7/00F25B29/00F25B21/02H01L21/683H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

Vertreten von