Method for adjusting a station for measuring airborne molecular contamination and measuring station
WO2020160910
Art A1
13. August 2020
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020160910
- Aktenzeichen
- EP20700938
- Anmeldetag
- 22. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 13. August 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G05D7/06G05D11/13G01N1/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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