Nitride piezoelectric substance and mems device using same

WO2020161997 Art A1 13. August 2020

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020161997
Aktenzeichen: EP19914557
Anmeldetag: 26. November 2019
Veröffentlichung: 13. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B81B3/00H01L41/09H01L41/113H01L41/187

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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