Textured Silicon Semiconductor Processing Chamber Components

WO2020163427 Art A1 13. August 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, SILFEX, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020163427
Aktenzeichen: EP20752858
Anmeldetag: 5. Februar 2020
Veröffentlichung: 13. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: LAM RESEARCH CORPORATION
SILFEX, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von