Thickness measurement of substrate using color metrology

WO2020163570 Art A1 13. August 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020163570
Aktenzeichen: EP20753054
Anmeldetag: 6. Februar 2020
Veröffentlichung: 13. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/40G06T7/90H04N5/247H04N5/225H04N9/04B24B37/013G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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