Air-gap type piezoelectric bulk acoustic wave device heterogeneous integration method, and device thereof

WO2020163973 Art A1 20. August 2020

Anmelder: Tianjin University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020163973
Aktenzeichen: EP18945415
Anmeldetag: 15. Februar 2019
Veröffentlichung: 20. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/02H01L33/00H01L21/336H03H3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tianjin University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tianjin University

Die Tianjin University ist eine der ältesten technischen Hochschulen Chinas mit Sitz in Tianjin. Ihr Patentportfolio deckt breit die Elektronik- und Schaltungstechnik ab, ergänzt durch organische Chemie sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik. Anmeldungen sind seit 2002 belegt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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