Method for cleaning a vacuum system, method for vacuum processing of a substrate, and apparatus for vacuum processing a substrate

WO2020164686 Art A1 20. August 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020164686
Aktenzeichen: EP19705327
Anmeldetag: 12. Februar 2019
Veröffentlichung: 20. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B08B7/00B08B9/00B08B7/04C23C16/44C23C14/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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