Apparatus for and method of controlling an energy spread of a charged-particle beam

WO2020164951 Art A1 20. August 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020164951
Aktenzeichen: EP20702312
Anmeldetag: 4. Februar 2020
Veröffentlichung: 20. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H01J37/05H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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