Semiconductor device fabrication method

WO2020165698 Art A1 20. August 2020

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020165698
Aktenzeichen
EP20755163
Anmeldetag
6. Februar 2020
Veröffentlichung
20. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/786C23C16/02C23C16/42G02F1/1368H01L21/316H01L21/318H01L21/336H01L21/363H01L27/32H01L51/50H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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