Activated-gas generation device
WO2020165964
Art A1
20. August 2020
Anmelder: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020165964
- Aktenzeichen
- EP19914888
- Anmeldetag
- 13. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 20. August 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/50H01L21/205H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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