Method for manufacturing film formation product and sputtering method
WO2020166167
Art A1
20. August 2020
Anmelder: TOWA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020166167
- Aktenzeichen
- EP19915360
- Anmeldetag
- 26. November 2019
- Veröffentlichung
- 20. August 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/50C23C14/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOWA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Towa
Towa ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterverpackung, insbesondere Formmaschinen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente und Kunststofftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen unter anderem Schneidvorrichtungen und -verfahren für gefertigte Bauteile.
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