Method for fabricating chamber parts

WO2020167414 Art A1 20. August 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020167414
Aktenzeichen
EP20756479
Anmeldetag
17. Januar 2020
Veröffentlichung
20. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/32H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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