Large area seamless master and imprint stamp manufacturing method

WO2020167617 Art A1 20. August 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020167617
Aktenzeichen
EP20756607
Anmeldetag
9. Februar 2020
Veröffentlichung
20. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00B29C59/02B82Y10/00B82Y40/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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