Simultaneous depth profile and spectral measurement

WO2020168094 Art A1 20. August 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020168094
Aktenzeichen: EP20714328
Anmeldetag: 13. Februar 2020
Veröffentlichung: 20. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G06T7/521

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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