A method of mixing upstream and downstream current measurements for inference of the beam current at the bend of an optical element for real time dose control

WO2020168328 Art A2 20. August 2020

Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020168328
Aktenzeichen: EP20714735
Anmeldetag: 17. Februar 2020
Veröffentlichung: 20. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/304H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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