Metal oxide film, semiconductor device, and method for evaluating metal oxide film

WO2020170065 Art A1 27. August 2020

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020170065
Aktenzeichen: EP20759721
Anmeldetag: 10. Februar 2020
Veröffentlichung: 27. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C01G15/00C01G19/00G01N23/20058G01N23/2055G02F1/1343G02F1/1368H01L21/20H01L21/203H01L21/336H01L27/32H01L29/786H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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