Starting material for forming gallium nitride-containing thin film for atomic layer deposition method, and method for producing gallium nitride-containing thin film

WO2020170853 Art A1 27. August 2020

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020170853
Aktenzeichen: EP20759894
Anmeldetag: 7. Februar 2020
Veröffentlichung: 27. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C23C16/34C23C16/455H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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