Electrostatic Chuck

WO2020171180 Art A1 27. August 2020

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020171180
Aktenzeichen: EP20758456
Anmeldetag: 20. Februar 2020
Veröffentlichung: 27. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/31H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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