Deposition apparatus comprising metal block-coupled heater assembly for supplying precursor source

WO2020171467 Art A1 27. August 2020

Anmelder: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020171467
Aktenzeichen: EP20759831
Anmeldetag: 12. Februar 2020
Veröffentlichung: 27. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea University Research and Business Foundation

Südkoreanische Einrichtung, die Forschungsprojekte und Technologietransfer der Korea University verwaltet, patentiert Ergebnisse aus universitärer Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin und überführt sie in Anwendungen.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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