Sensor Metrology Data Integration

WO2020172186 Art A1 27. August 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020172186
Aktenzeichen
EP20759859
Anmeldetag
18. Februar 2020
Veröffentlichung
27. August 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G05B19/418G05B23/02G06N20/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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