Determining pressure of gas pumped by a turbomolecular pump

WO2020174227 Art A1 3. September 2020

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020174227
Aktenzeichen: EP20709669
Anmeldetag: 25. Februar 2020
Veröffentlichung: 3. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04F04D27/00F04D27/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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