Semiconductor device, ph sensor, biosensor and method for producing semiconductor device

WO2020174540 Art A1 3. September 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020174540
Aktenzeichen
EP19917380
Anmeldetag
25. Februar 2019
Veröffentlichung
3. September 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/336H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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