Method for forming metal wiring

WO2020175170 Art A1 3. September 2020

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020175170
Aktenzeichen
EP20762312
Anmeldetag
14. Februar 2020
Veröffentlichung
3. September 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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