Method for producing semiconductor device, substrate processing apparatus, and program

WO2020175314 Art A1 3. September 2020

Anmelder: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020175314
Aktenzeichen: EP20762580
Anmeldetag: 20. Februar 2020
Veröffentlichung: 3. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

538 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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