Optical element for a deep ultraviolet light source

WO2020176205 Art A1 3. September 2020

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020176205
Aktenzeichen: EP20710351
Anmeldetag: 5. Februar 2020
Veröffentlichung: 3. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/034H01S3/08H01S3/083H01S3/225C30B29/12C30B33/00G02B1/118H01S3/081H01S3/0971H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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