System and method for pumping laser sustained plasma with interlaced pulsed illumination sources
WO2020176370
Art A1
3. September 2020
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020176370
- Aktenzeichen
- EP20762397
- Anmeldetag
- 24. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 3. September 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J61/02H01J61/30H01J65/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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