Reference image generation for semiconductor applications

WO2020176431 Art A1 3. September 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020176431
Aktenzeichen
EP20762778
Anmeldetag
25. Februar 2020
Veröffentlichung
3. September 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G06T7/00G06T7/11G06T5/00G06T19/20H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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