Turbomolecular vacuum pump and purging method
WO2020178042
Art A1
10. September 2020
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020178042
- Aktenzeichen
- EP20705719
- Anmeldetag
- 20. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 10. September 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04D19/04F04D29/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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