Method for manufacturing semiconductor crystal thin film, and laser annealing system

WO2020179056 Art A1 10. September 2020

Anmelder: GIGAPHOTON INC., KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020179056
Aktenzeichen: EP19918020
Anmeldetag: 7. März 2019
Veröffentlichung: 10. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L21/268H01L21/336H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

1.331 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von