Physical vapor deposition system and processes

WO2020180585 Art A1 10. September 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020180585
Aktenzeichen
EP20766268
Anmeldetag
27. Februar 2020
Veröffentlichung
10. September 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C23C14/14C23C14/06C23C14/00G03F1/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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