Extreme ultraviolet mask blank with multilayer absorber and method of manufacture

WO2020180586 Art A1 10. September 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020180586
Aktenzeichen: EP20765794
Anmeldetag: 27. Februar 2020
Veröffentlichung: 10. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F1/52G03F1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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