Measurement system to measure a thickness of an adjustable edge ring for a substrate processing system

WO2020180656 Art A1 10. September 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020180656
Aktenzeichen: EP20765796
Anmeldetag: 28. Februar 2020
Veröffentlichung: 10. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B17/02G01B5/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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