Method to improve nikon wafer loader repeatability

WO2020181482 Art A1 17. September 2020

Anmelder: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020181482
Aktenzeichen
EP19918985
Anmeldetag
12. März 2019
Veröffentlichung
17. September 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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