Electrostatic clamp for a lithographic apparatus

WO2020182637 Art A1 17. September 2020

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020182637
Aktenzeichen: EP20710113
Anmeldetag: 6. März 2020
Veröffentlichung: 17. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683H01L21/687H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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