Inspection condition creation support device, inspection condition creation support method, inspection condition creation support program and recording medium

WO2020183836 Art A1 17. September 2020

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020183836
Aktenzeichen: EP19919402
Anmeldetag: 16. Dezember 2019
Veröffentlichung: 17. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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